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儀器資訊丨108 Auto Sputter Coater 108A 小型離子濺射儀

發(fā)布日期:2020-08-11 瀏覽數(shù):7346

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108A 小型離子濺射儀

108A 小型離子濺射儀是較為常用的樣品導(dǎo)電預(yù)處理設(shè)備,主要應(yīng)用于掃描電子顯微(SEM)和X射線微觀分析等儀器的樣品前處理階段。其工作原理是在真空條件下,用高速離子轟擊靶材,使靶材原子濺射出來(lái),遷移到樣品表面形成鍍膜,以增加樣品的導(dǎo)電性。在實(shí)際應(yīng)用中,可根據(jù)不同的樣品特性和觀察目的來(lái)選配不同材質(zhì)的靶材。


?  產(chǎn)品特性   

 1、提供“自動(dòng)”和“手動(dòng)”兩種操作模式。2、可以通過(guò)參數(shù)控制或膜厚監(jiān)控儀(選配)來(lái)實(shí)現(xiàn)鍍膜的可重復(fù)性。3、可根據(jù)成膜速率和真空度調(diào)控工作電流,以獲得高質(zhì)量鍍膜效果。4、采用直流磁控管“低壓低溫”濺射,減少對(duì)試樣的熱影響。5、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,可快速更換濺射靶材。?產(chǎn)品參數(shù)


 技術(shù)參數(shù)表

腔體尺寸

120mm OD×120mm height(4.75x 4.75")

靶材

標(biāo)配Au 選配Au:Pd, Pt, Pt:Pd

規(guī)格57mm dia×0.1mm thick

樣品臺(tái)

12 孔SEM 釘型樣品臺(tái)支架 高度60mm可調(diào)

真空度

大氣壓 - 0.001mb

工作電壓

200-240V, 50Hz

工作功率

300W


?  MTM-10高分辨膜厚檢控儀 ( 選配 )

該產(chǎn)品是通過(guò)收集頂部石英晶體的振蕩頻率的變化信號(hào)來(lái)檢測(cè)濺射膜厚。分辨率為0.5nm。可原位量化濺射膜厚,便于實(shí)現(xiàn)鍍膜的可重復(fù)性。


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